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2002년 |
◎ 2002. 09. 30
:실용신안증
일체형 분광타원해석장치
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2003년 |
◎ 2003. 06. 17:
특허등록 동기화된 회전요소형 타원해석기
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◎
2003. 07. 23:
의장등록
모듈형 분광타원해석기
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◎
2003. 08. 27:
특허등록
고정입사면 타원해석기
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◎
2003. 11. 27:
특허출원
매핑용 타원해석기
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2004년 |
◎ 2004.
01. 30:
특허등록
타원해석을 이용한 선형노광패턴 분석시스템
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◎ 2004.
02. 18:
특허출원
노광패턴 분석용 타원해석기 |
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◎ 2004. 02. 28:
특허출원 금식각 방법 및 장치
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◎ 2004. 08. 18:
특허출원 자동 위상지연값 측정용 분광 타원 해석기
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◎ 2004. 09. 17:
특허등록
일체형 분광타원해석기
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◎ 2004. 11. 15:
특허출원 레벨 장착 타원 해석기
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◎ 2004. 12. 30:
특허출원 광경로 보호형 진공 자외선 타원 해석기 |
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◎ 2004. 12. 30:
특허출원 광경로 보호형 진공 자외선 타원 해석기
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◎ 2004. 12. 30:
특허출원
수준기를 구비하는 타원해석기 |
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◎ 2004. 12. 30:
특허출원 광경로 보호형 진공 자외선 타원 해석기 |
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2005년 |
◎
2005. 05. 13:
특허출원
비등방 측정용 자체 회전 타원해석기 |
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◎
2005. 11. 24:
특허출원
회전보상기형 외축 타원해석기 |
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◎
2005. 12. 08:
특허출원
다기능 회전요소형 타원해석기 |
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2006년 |
◎
2006. 01. 24:
특허출원
고출력 진공자외선용 편광기 |
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◎
2006. 04. 16:
특허출원
화송광량조절형 다중채널 분광타원해석기 |
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◎
2006. 04. 16:
특허출원
LED를 이용한 현미경 타원해석기 |
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◎
2005. 08. 12:
실용신안
다중 헤드식 타원해석기 |
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◎
2006. 03. 30:
특허등록
자동위상지면값 측정용 분광타원해석기 |
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◎
2006. 03. 30:
특허등록
광조사를 이용한 금 식각 방법 및 이를 위한
장치 |
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2007년 |
◎
2007. 03. 22:
특허등록
다기능 회전요소형 타원해석기 |
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